過(guò)去幾年，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)風(fēng)起云涌。中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模占全球比重持續(xù)提高。隨著5G、消費(fèi)電子、汽車(chē)電子等下游產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步興起，疊加全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向大陸轉(zhuǎn)移，中國(guó)將持續(xù)成為全球更大和貿(mào)易更活躍的半導(dǎo)體市場(chǎng)。眾所周知，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與面板產(chǎn)業(yè)相似，都是重資產(chǎn)投入，設(shè)備投資占總投資規(guī)模的比例達(dá)到60%以上，其中一些關(guān)鍵的制程環(huán)節(jié)需要綜合運(yùn)用光學(xué)、物理、化學(xué)等科學(xué)技術(shù)，具有技術(shù)含量高、制造難度大、設(shè)備價(jià)值高等特點(diǎn)。此外，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)在還遇到一些新的問(wèn)題，需要新的突破，比如環(huán)保問(wèn)題。

半導(dǎo)體要在全年四季的不同氣候條件下生產(chǎn)，生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境，特別是對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度等多個(gè)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求，由于半導(dǎo)體產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響，其對(duì)濕度的精度提出了更嚴(yán)格要求。工業(yè)蒸汽鍋爐作為其生產(chǎn)線(xiàn)的重要熱源設(shè)備，能否穩(wěn)定高效運(yùn)行對(duì)其工序品質(zhì)造成直接影響。